アイリス株式会社

QMSがサンプル直上にあるため、極微量脱離ガスをも検知。サンプル表面に付着する化学吸着種の定性を行ったり、表面からの吸着量、脱離過程及び化学反応過程、さらに、サンプル内部から拡散する化学種など、詳細な情報を得ることが可能。水素貯蔵合金、セラミック、半導体材料、太陽光パネル、電子材料からの脱離ガス分析などにご利用いただけます。